半导体高纯水保安过滤器是半导体高纯水制备系统中终端纯化装置前的关键精密过滤设备,用于截留前期处理后残留的超细微颗粒、胶体等杂质,这些杂质会影响半导体器件良率和可靠性,它通过超高精度滤芯将杂质控制在极低水平,保障进入生产的高纯水符合严苛标准,同时保护后续终端纯化设备,滤芯更换便捷,能快速恢复过滤能力,为半导体生产提供稳定的超高纯度水源。
工作原理是,让经前期处理的高纯水流入设备内部,通过装填的超高精度滤芯,利用滤芯材料的特殊孔隙结构和吸附性能,对水中残留的超细微颗粒、胶体、微生物碎片等杂质进行深层截留与吸附,将这些可能影响半导体生产的极细微杂质有效拦截在滤芯中,使处理后的高纯水达到半导体制造所需的超高纯度标准,同时防止杂质进入后续终端纯化设备造成污染,当滤芯因截留杂质过多导致过滤效果下降时,更换新的滤芯即可恢复设备的过滤能力,从而持续为半导体生产提供符合要求的高纯水。