半导体清洗多介质过滤器,是半导体行业清洗水处理的核心轻量化预处理设备,专为半导体芯片、晶圆等精密清洗的高洁净水质要求设计,适配半导体产线各类清洗水预处理场景。多介质过滤器适配半导体产线紧凑的场地布局,便于安装与产线集成,同时搭配专用多层梯度级配滤料,针对半导体清洗水的杂质特性优化滤料配比,可精准高效去除清洗原水中的悬浮物、胶体、细微颗粒等污染物,深度净化水质,严控水中杂质粒径与含量,满足半导体精密清洗的超高水质标准。其核心作用是从源头保障清洗水洁净度,有效防止水中细微杂质划伤芯片、晶圆表面,避免杂质堵塞精密清洗管路、喷嘴及清洗设备,减少产线不良品率,保护半导体精密生产设备。设备兼具运行稳定、抗污堵性好的特点,反冲洗便捷高效,滤料再生效果佳,适配半导体产线自动化、精细化的生产需求,为半导体精密制造筑牢水质预处理防线。
半导体清洗多介质过滤器核心依托多层梯度级配滤料的分层物理拦截、精准筛分与吸附作用,针对半导体清洗水的超高洁净要求实现深度净化,待处理的清洗原水经均匀布水后自上而下流经滤料层,上层大粒径滤料先截留水中悬浮物、较大细微颗粒等杂质,下层高精度滤料进一步精准捕捉微小胶体、超细颗粒等对芯片、晶圆有损害的污染物,分级去除水中各类杂质并严控出水杂质粒径与含量,确保清洗水达到半导体精密清洗的高洁净水质标准,为芯片、晶圆清洗提供合格水源;当滤料层截留杂质逐步累积导致进出口压差升高、过滤精度下降时,启动低压适配反冲洗程序,反向通入洁净水均匀冲刷滤料层,在避免滤料流失的前提下,彻底剥离滤料间隙吸附的细微杂质并随冲洗水排出,使滤料层快速恢复蓬松状态与原有过滤性能,实现循环往复的连续稳定过滤,持续为半导体清洗环节提供洁净、稳定的水质,从源头规避杂质划伤芯片表面、堵塞精密清洗管路与喷嘴的风险。
适配半导体生产需求,有效规避水中细微杂质划伤芯片、晶圆表面的风险,减少产线不良品率,保障精密制程品质
防护生产设备,防止杂质堵塞清洗管路、精密喷嘴及清洗装置,降低设备磨损与故障概率,延长设备使用寿命
反冲洗设计优化,采用低压适配反冲模式,在避免滤料流失的前提下实现杂质彻底剥离,滤料再生效果佳,过滤周期长
运行稳定性强,布水结构均匀,水流平稳无偏流,抗水质、流量小幅波动,出水水质持续达标,适配半导体产线连续化生产节奏
轻量化 / 紧凑化设计,体积小巧、占地少,便于与半导体产线集成安装,适配产线紧凑的场地布局,后期移动、改造更便捷
运维便捷高效,支持自动化反冲控制,可联动产线实现无人化操作,人工干预少,滤芯耗材损耗低,降低日常运维成本
型号 | 罐体规格 | 进出口规格 | 最大流量t/h | 压力kg |
LF-SYS500 | φ500*2150 | DN50 | 2 | 10 |
LF-SYS600 | φ600*2250 | DN50 | 3 | 10 |
LF-SYS800 | φ800*2450 | DN65 | 5 | 10 |
LF-SYS1000 | φ1000*2550 | DN65 | 8 | 10 |
LF-SYS1200 | φ1200*2650 | DN65 | 12 | 10 |
LF-SYS1500 | φ1500*2850 | DN80 | 18 | 10 |
LF-SYS1600 | φ1600*2950 | DN80 | 20 | 10 |
LF-SYS1800 | φ1800*3050 | DN100 | 25 | 10 |
LF-SYS2000 | φ2000*3150 | DN100 | 30 | 10 |
LF-SYS2200 | φ2200*3300 | DN125 | 40 | 10 |
LF-SYS2400 | φ2400*3400 | DN125 | 50 | 10 |
LF-SYS2500 | φ2500*3450 | DN125 | 60 | 10 |
LF-SYS2600 | φ2600*3450 | DN150 | 70 | 10 |
LF-SYS2800 | φ2800*3600 | DN150 | 80 | 10 |
LF-SYS3000 | φ3000*3900 | DN219 | 100 | 10 |
LF-SYS3200 | φ3200*4500 | DN219 | 120 | 10 |
LF-SYS3400 | φ3400*4600 | DN250 | 150 | 10 |
LF-SYS3600 | φ3600*4650 | DN250 | 180 | 10 |
1. 工业用水的过滤:对水质有一定系统要求。如 : 钢厂氧枪水、锅炉、热交换器供水的过滤,可过滤掉水中的杂质,避免管路及喷嘴的堵塞。
2. 工业循环水的过滤系统。
3. 原水的处理:对地表河水、湖水、海水、水库水、井水及城市自来水作为水源的城市小区分质供 水等进行过滤,除去水中的砂粒、悬浮物、藻类、有机物等。
4. 农业灌溉:尤其适用于高流量、杂质含量好的水源,如农田水利灌溉、公园及高尔夫球场上草坪的灌溉等。
5. 食品加工工业用水,造纸行业,电厂工业循环水的处理等,工业及医疗用纯净水的预处理。工业生产 水的再循环、工业废水处理。
6. 水产业、游泳及水上乐园等行业。
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